锆铟靶材（ZrIn）

产品简介（Introduction）

锆铟靶材（ZrIn）由锆（Zr）与铟（In）组合而成，是一种兼具高耐蚀性、优异光学性能、低颗粒输出与高膜层密着性的高端合金溅射靶材。Zr 赋予材料出色的化学稳定性和机械强度，In 则提供良好的导电性、低熔点和高光学透明度，使 ZrIn 薄膜在光电器件、半导体、电极层与功能薄膜中表现优异。

ZrIn 靶材特别适用于高均匀性、高致密度薄膜的沉积，是光学镀膜、新型显示及先进材料研发中的高价值薄膜源材料。

产品详情（Detailed Description）

ZrIn 靶材通常采用高纯锆粉与铟锭，通过均匀混料、冷等静压（CIP）、真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）工艺制备而成。材料致密度高，微结构均匀，具备优异的溅射稳定性及极低颗粒率。

典型参数：

• 纯度（Purity）： 99.9% – 99.99%

• 可定制成分比例（Composition）：

  • Zr80In20

  • Zr70In30

  • Zr60In40

  • 或根据需求定制任意 Zr/In 比例

• 尺寸范围（Size）：

  • 直径 Ø25–300 mm（支持定制）

  • 厚度 3–6 mm（薄靶可定制）

• 成型工艺（Process）： CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 致密度（Density）： ≥95%–98% 理论密度

• 背板（Bonding）： 可提供 Cu / Ti 背板或铟焊结合

材料特性：

• 高膜层致密性与均匀性

• 极低颗粒率（适合高端光学镀膜）

• 良好的电学稳定性

• 优异的光学透过率与折射率特性

• 高耐腐蚀性与化学稳定性

• 可用于反应性溅射（氧化物 / 氮化物薄膜）

应用领域（Applications）

1. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 反射膜

• 透光膜

• 抗反射结构膜

• 红外/可见光波段功能膜

ZrIn 兼具结构稳定性与光学可调性，是多层光学膜的理想材料。

2. 半导体薄膜（Semiconductors）

• 缓冲层

• 电极层

• 介质保护层

• 过渡金属薄膜结构

3. 显示与光电器件（Displays & Optoelectronics）

• OLED / MicroLED 结构膜

• 薄膜电阻 / 电极材料

• 传感器结构层

4. 功能薄膜与科研（R&D Functional Films）

适合用于：

• Zr-In 氧化物 / 氮化物薄膜研究

• 多层结构薄膜设计

• 透明电极类材料开发

兼容 DC / RF 磁控溅射、共溅射、反应性溅射。

技术参数（Technical Parameters）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封

• 防静电与防潮包装

• 泡棉防震保护

• 出口级硬质纸箱 / 木箱

• 附唯一批号与检测信息

结论（Conclusion）

锆铟靶材（ZrIn）兼具光学、电学与结构稳定性，是显示技术、光学镀膜、半导体和科研领域的优选材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、可定制化的 ZrIn 靶材，是薄膜材料供应的可靠合作伙伴。

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