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镍铬铝靶材(NiCrAl)由镍(Ni)、铬(Cr)和铝(Al)构成,是一种兼具高温稳定性、优异抗氧化性、强附着力与可控电阻率的功能合金靶材。Ni 提供延展性与化学稳定性,Cr 增强耐腐蚀性、硬度与耐热性,Al 的加入可进一步提升抗氧化能力并改善膜层结构,使 NiCrAl 薄膜在高温、腐蚀性环境以及精密电子应用中表现优异。
NiCrAl 是电阻薄膜、加热膜、气密封装、电磁屏蔽层以及工程保护膜中常用的重要材料之一。
NiCrAl 靶材由高纯金属 Ni、Cr 和 Al 均匀混合,经冷等静压(CIP)压制成型,再通过真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)工艺处理,使靶材达到高致密度(≥95–98% TD)。其微观组织均匀稳定,适用于高功率 DC/RF 磁控溅射。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
常用成分比例(Composition):
Ni80Cr15Al5
Ni70Cr20Al10
Ni60Cr30Al10
可按客户需求定制 Ni/Cr/Al 比例
尺寸(Size):Ø25–300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm
致密度(Density):≥95–98% TD
制造工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP
背板(Bonding):Cu / Ti 背板或铟焊结合(In Bonding)
可控电阻率与稳定温度系数(TCR)
极佳耐腐蚀性、耐高温性能
成膜平整、颗粒率低
Al 的加入提高抗氧化能力和膜层致密性
对玻璃、陶瓷、金属等多种基底附着力强
适用于反应性溅射(Ni-Cr-Al-O / Ni-Cr-Al-N 薄膜)
精密电阻器
加热元件薄膜
功率电阻薄膜
可调电阻结构层
NiCrAl 提供稳定的电阻温漂,是高性能电阻膜的重要材料。
电极过渡层
导电结构层
密封保护膜
金属化膜堆叠结构
耐腐蚀保护层
抗氧化金属膜
高温金属保护膜
工程机械表面强化膜
反射层
多层结构的中间层
抗蚀光学保护膜
多成分金属薄膜研究
高温稳定材料开发
功能膜层耐蚀性与结构分析
共溅射多层膜设计
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 薄膜稳定性和低缺陷性关键因素 |
| 成分比例 | 可定制 | 调控电阻率、耐温性和机械性能 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 颗粒率更低、膜层更均匀 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射速率和寿命 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 支持各类设备 |
| 背板 | Ti / Cu / In | 增强散热、避免靶材变形 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| NiCrAl | 高温抗氧化 + 稳定电阻 | 加热膜、精密电阻薄膜 |
| NiCr | 常规电阻材料 | 电阻膜、光学膜 |
| NiAl | 高温结构材料 | 抗氧化保护膜 |
| CrAl | 强耐腐蚀 | 防护与高温涂层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiCrAl 是否适合高温应用? | 是,非常适合高温和高腐蚀环境。 |
| 成分比可否定制? | 可按 Ni/Cr/Al 任意比例定制。 |
| NiCrAl 是否有低颗粒优势? | 采用高致密工艺,颗粒率极低。 |
| 是否兼容 DC/RF? | 兼容所有磁控溅射系统。 |
| 是否需要背板? | 大尺寸靶材建议 Cu/Ti 背板增强散热。 |
真空密封防氧化
干燥剂防潮保护
多层防震包装
出口级硬箱 / 木箱
标注唯一批号便于追踪
镍铬铝靶材(NiCrAl)以其优异的高温稳定性、抗氧化性、电阻特性与低颗粒输出,在电阻膜、加热膜、高温保护膜及电子封装应用中表现出色。苏州科跃材料科技有限公司可根据客户需求提供不同成分、尺寸及背板结构的 NiCrAl 靶材,是科研与工业应用的可靠供应商。
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