镍铬铝靶材(NiCrAl)

镍铬铝靶材(NiCrAl)

产品简介(Introduction)

镍铬铝靶材(NiCrAl)由镍(Ni)、铬(Cr)和铝(Al)构成,是一种兼具高温稳定性、优异抗氧化性、强附着力与可控电阻率的功能合金靶材。Ni 提供延展性与化学稳定性,Cr 增强耐腐蚀性、硬度与耐热性,Al 的加入可进一步提升抗氧化能力并改善膜层结构,使 NiCrAl 薄膜在高温、腐蚀性环境以及精密电子应用中表现优异。

NiCrAl 是电阻薄膜、加热膜、气密封装、电磁屏蔽层以及工程保护膜中常用的重要材料之一。


产品详情(Detailed Description)

NiCrAl 靶材由高纯金属 Ni、Cr 和 Al 均匀混合,经冷等静压(CIP)压制成型,再通过真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)工艺处理,使靶材达到高致密度(≥95–98% TD)。其微观组织均匀稳定,适用于高功率 DC/RF 磁控溅射。

典型材料规格:

  • 纯度(Purity):99.9%–99.99%

  • 常用成分比例(Composition)

    • Ni80Cr15Al5

    • Ni70Cr20Al10

    • Ni60Cr30Al10

    • 可按客户需求定制 Ni/Cr/Al 比例

  • 尺寸(Size):Ø25–300 mm

  • 厚度(Thickness):3–6 mm

  • 致密度(Density):≥95–98% TD

  • 制造工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP

  • 背板(Bonding):Cu / Ti 背板或铟焊结合(In Bonding)

材料特点:

  • 可控电阻率与稳定温度系数(TCR)

  • 极佳耐腐蚀性、耐高温性能

  • 成膜平整、颗粒率低

  • Al 的加入提高抗氧化能力和膜层致密性

  • 对玻璃、陶瓷、金属等多种基底附着力强

  • 适用于反应性溅射(Ni-Cr-Al-O / Ni-Cr-Al-N 薄膜)


应用领域(Applications)

1. 电阻薄膜(Resistive Thin Films)

  • 精密电阻器

  • 加热元件薄膜

  • 功率电阻薄膜

  • 可调电阻结构层

NiCrAl 提供稳定的电阻温漂,是高性能电阻膜的重要材料。


2. 半导体与电子封装(Semiconductor & Packaging)

  • 电极过渡层

  • 导电结构层

  • 密封保护膜

  • 金属化膜堆叠结构


3. 高温与耐腐蚀薄膜(High-Temperature & Protective Coatings)

  • 耐腐蚀保护层

  • 抗氧化金属膜

  • 高温金属保护膜

  • 工程机械表面强化膜


4. 光学镀膜(Optical Films)

  • 反射层

  • 多层结构的中间层

  • 抗蚀光学保护膜


5. 科研用途(Research Applications)

  • 多成分金属薄膜研究

  • 高温稳定材料开发

  • 功能膜层耐蚀性与结构分析

  • 共溅射多层膜设计


技术参数(Technical Parameters)

参数 数值 / 范围 说明
纯度 99.9–99.99% 薄膜稳定性和低缺陷性关键因素
成分比例 可定制 调控电阻率、耐温性和机械性能
致密度 ≥95–98% TD 颗粒率更低、膜层更均匀
厚度 3–6 mm 影响溅射速率和寿命
直径 Ø25–300 mm 支持各类设备
背板 Ti / Cu / In 增强散热、避免靶材变形

材料对比(Comparison)

材料 特性 应用
NiCrAl 高温抗氧化 + 稳定电阻 加热膜、精密电阻薄膜
NiCr 常规电阻材料 电阻膜、光学膜
NiAl 高温结构材料 抗氧化保护膜
CrAl 强耐腐蚀 防护与高温涂层

常见问题(FAQ)

问题 答案
NiCrAl 是否适合高温应用? 是,非常适合高温和高腐蚀环境。
成分比可否定制? 可按 Ni/Cr/Al 任意比例定制。
NiCrAl 是否有低颗粒优势? 采用高致密工艺,颗粒率极低。
是否兼容 DC/RF? 兼容所有磁控溅射系统。
是否需要背板? 大尺寸靶材建议 Cu/Ti 背板增强散热。

包装(Packaging)

  • 真空密封防氧化

  • 干燥剂防潮保护

  • 多层防震包装

  • 出口级硬箱 / 木箱

  • 标注唯一批号便于追踪


结论(Conclusion)

镍铬铝靶材(NiCrAl)以其优异的高温稳定性、抗氧化性、电阻特性与低颗粒输出,在电阻膜、加热膜、高温保护膜及电子封装应用中表现出色。苏州科跃材料科技有限公司可根据客户需求提供不同成分、尺寸及背板结构的 NiCrAl 靶材,是科研与工业应用的可靠供应商。

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📩 sales@keyuematerials.com