钴钨靶材（CoW）

产品简介（Introduction）

钴钨靶材（CoW）由钴（Co）与钨（W）组成，是一种高性能硬质合金靶材，兼具钴的韧性与金属结合性，以及钨的高硬度、高熔点、耐腐蚀与耐磨损特性。CoW 在薄膜沉积中可形成结构致密、硬度高、耐磨耐蚀、耐高温的金属功能膜，被广泛应用于工具涂层、工程保护膜、半导体薄膜、磁性器件以及微纳制造领域。

由于其薄膜硬度高、机械强度强、可承受高应力环境，CoW 是许多高端工程膜与功能涂层的关键材料。

产品详情（Detailed Description）

钴钨靶材通常采用高纯钴粉与钨粉通过粉末冶金工艺制备，包括混料、球磨、冷等静压（CIP）、真空烧结或热等静压（HIP）。通过控制合金比例与烧结温度，可实现 95–99% TD 的高致密度，确保溅射时颗粒率低、膜层均匀度高。

典型参数规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 化学比例（Composition）：

  • Co90W10

  • Co80W20

  • Co70W30

  • 可按要求定制 Co/W 比例

• 尺寸（Diameter）：Ø25–300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm（可做薄靶）

• 致密度（Density）：95–99% TD

• 制造工艺（Process）：CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 背板（Bonding）：Cu/Ti 背板或铟焊（In Bonding）

材料特点：

• 高硬度、高耐磨性：适用于抗刮擦与耐磨功能膜

• 耐高温性能优异（W 特性）

• 抗腐蚀、抗氧化能力强

• 薄膜致密，附着性强、低颗粒率

• 可用于 DC/RF 溅射，工艺稳定

• 适合高应力环境与机械强化场景

应用领域（Applications）

1. 硬质防护膜（Hard Protective Coatings）

• 刀具与工模具表面强化

• 抗磨损工程膜

• 防刮涂层

• 摩擦学应用（Tribology）

CoW 是工程强化膜中常用的硬质金属材料之一。

2. 半导体与电子（Semiconductor & Electronics）

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 结构强化层

• 扩散阻挡层

• 微电子机械系统（MEMS）金属膜

3. 磁性薄膜（Magnetic Thin Films）

• 弱磁性调控层

• 功能性金属膜结构

• 传感器保护层

4. 工程涂层（Engineering Coatings）

• 耐腐蚀薄膜

• 工件表面强化层

• 高温工作环境保护膜

5. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 保护层

• 中间层

• 机械稳定性增强层

技术参数（Technical Parameters）

与相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂吸湿保护

• 防震泡棉固定

• 出口级纸箱或木箱

• 每片靶材均附唯一批号便于追踪

结论（Conclusion）

钴钨靶材（CoW）凭借其高硬度、耐磨损、耐高温及优异附着性，在工具涂层、机械防护膜、半导体结构层和磁性薄膜等应用场景中具有重要价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高致密、高纯度、定制成分与尺寸的 CoW 靶材，适用于科研、试产和量产过程。

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