钴铝靶材（CoAl）

产品简介（Introduction）

钴铝靶材（CoAl）由钴（Co）与铝（Al）组成，是一种轻质、高稳定性、耐腐蚀性优异的工程功能性合金靶材。钴具备良好的磁性能、耐磨性与机械强度，而铝带来轻量化、高比强度、抗氧化性能和良好的电学稳定性。两者结合使 CoAl 薄膜具有结构致密、应力低、结合力强、耐腐蚀与耐磨损等优势，在电子薄膜、光学镀膜、磁性功能膜以及先进材料研究中表现突出。

CoAl 是一种兼具轻质化与功能性的多用途溅射靶材，适合科研与工业生产。

产品详情（Detailed Description）

钴铝靶材一般采用高纯 Co 与 Al 原料，通过粉末冶金工艺（混料、球磨、冷等静压 CIP、真空烧结或 HIP）制备，可实现 95–99% TD 的致密结构，使其在磁控溅射中保持低颗粒率与高稳定性。

典型产品参数

• 纯度：99.9% – 99.99%

• 常见合金比例（可定制）：

  • Co90Al10

  • Co80Al20

  • Co70Al30

  • Co/Al 比例可按膜层性能需求调整

• 直径：Ø25 – 300 mm

• 厚度：3 – 6 mm（可做薄靶）

• 致密度：95–99% TD

• 制造工艺：CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 背板（Bonding）：Cu / Ti / In Bonding

材料特点

• 轻质高强，适合结构薄膜

• 耐腐蚀、耐氧化性能优异（Al 的贡献）

• 磁性可调（取决于 Co 含量）

• 薄膜附着力强，应力低

• 成膜均匀、颗粒率低

• 兼容 DC / RF 溅射

应用领域（Applications）

1. 电子与半导体薄膜（Electronic & Semiconductor Films）

• 粘附层

• 电极层

• 扩散阻挡层

• 轻质结构层

2. 磁性薄膜（Magnetic Thin Films）

• 软磁功能层

• 可调磁响应薄膜

• 传感器结构膜

3. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 结构保护层

• 中间层

• 耐腐蚀光学金属膜

4. 工程涂层（Engineering Coatings）

• 耐腐蚀保护膜

• 结构强化膜

• 耐磨金属薄膜

5. 科研开发（R&D）

• 轻质功能膜

• 金属间化合物 CoAl 薄膜研究

• CoAl-O、CoAl-N 反应性薄膜

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂保护

• 多层防震固定结构

• 出口级硬质包装

• 附唯一批号、检验报告

结论（Conclusion）

钴铝靶材（CoAl）凭借轻质、高稳定性、耐腐蚀性与可调磁性，在电子薄膜、光学镀膜、磁性结构、工程保护膜及材料研究中具有重要应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度的 CoAl 溅射靶材，并支持定制成分、尺寸与背板结合。

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