铬钛靶材（CrTi）

产品简介（Introduction）

铬钛靶材（CrTi）由铬（Cr）与钛（Ti）组成，是一种兼具轻量化、高机械强度、优异耐腐蚀性与良好附着性能的二元工程合金靶材。铬具有极佳的耐腐蚀性和金属粘附能力，而钛具备轻质、高比强度以及抗氧化特性，两者结合后可形成结构致密、应力低、附着力强的金属薄膜，适用于半导体、光学镀膜、电子器件和工程保护膜等领域。

CrTi 是一种适用于功能层、结构层与耐腐蚀层的高稳定性合金靶材。

产品详情（Detailed Description）

铬钛靶材采用高纯 Cr 与 Ti 原料，经粉末冶金工艺生产，包括混粉、球磨、冷等静压（CIP）、真空烧结或热等静压（HIP）。该工艺可实现 95–99% TD 的致密度，确保在磁控溅射过程中具有良好均匀性和极低颗粒率。

典型规格参数

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 常见成分比例（Composition）：

  • Cr90Ti10

  • Cr80Ti20

  • Cr70Ti30

  • 可按需求定制比例 Cr/Ti 比例

• 直径（Diameter）：Ø25 – 300 mm

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm（可做薄靶）

• 致密度（Density）：≥95–99% TD

• 制造工艺（Process）：CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 背板（Bonding）：Cu / Ti / In Bonding

材料特性

• 轻量化薄膜（Ti 贡献）

• 高耐腐蚀、耐氧化性能（Cr 贡献）

• 良好的膜层附着性

• 稳定电学特性

• 结构致密，表面颗粒率极低

• 可用于 DC / RF 溅射

• 支持大量程反应性溅射（CrTi-N、CrTi-O 薄膜）

应用领域（Applications）

1. 半导体与电子器件薄膜

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 扩散阻挡层

• 结构层

• 功能金属化层

2. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 中间层（金属/介质过渡层）

• 耐腐蚀光学保护膜

• 工程结构光学膜

3. 工程保护膜（Engineering Coatings）

• 耐腐蚀薄膜

• 耐磨结构层

• 轻质强化金属膜

4. 精密金属层（Precision Metal Layers）

• 控应力薄膜

• 功能复合膜（金属 + 氧化物/氮化物）

• 电子封装薄膜

5. 材料研究（R&D Applications）

• CrTi 合金体系优化研究

• 高附着力工程膜开发

• CrTi-N / CrTi-O 功能薄膜研究

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂吸湿保护

• 多层防震结构

• 出口级硬质包装

• 每片靶材附唯一批号与可追溯检测记录

结论（Conclusion）

铬钛靶材（CrTi）以其轻质、耐腐蚀、强附着性与优异成膜性能，在半导体、光学膜层、工程保护薄膜及材料研究领域具有重要应用。苏州科跃材料科技有限公司可提供高密度、高纯度的 CrTi 靶材，并支持定制成分、尺寸及背板焊接，是科研与量产客户的可靠选择。

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