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铬钴靶材（CrCo）由铬（Cr）与钴（Co）组成，是一种兼具高耐腐蚀性、优异机械强度、良好稳定性和可调磁性的工程功能合金靶材。铬赋予薄膜强附着性与优异耐蚀能力，而钴提供较高磁性、强度和良好结构稳定性，使得 CrCo 薄膜在磁性器件、腐蚀保护层、结构增强层和半导体金属薄膜中具有广泛应用。
CrCo 靶材薄膜致密、均匀、抗应力能力强，是科研和工业镀膜系统中的关键材料之一。
CrCo 靶材采用高纯 Cr、Co 金属粉末，通过混粉、球磨、冷等静压（CIP）、真空烧结或热等静压（HIP）制备，致密度可达 ≥95–99% TD，可确保薄膜沉积过程中的稳定性和极低颗粒率。
纯度（Purity）：99.9% – 99.99%
常见成分（Composition）：
Cr90Co10
Cr80Co20
Cr70Co30
Cr/Co 比例可按要求定制
直径（Diameter）：Ø25–300 mm
厚度（Thickness）：3–6 mm（可提供超薄靶材）
致密度（Density）：≥95–99% TD
制造工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP
背板（Bonding）：可选 Cu / Ti / Al / Indium Bonding
良好耐腐蚀性（Cr 的优势）
高机械强度、耐磨性好（Co 的特性）
可调磁性，适合磁性装置
膜层致密、均匀
电学稳定性佳
适用于 DC / RF 磁控溅射
可用于反应性溅射：CrCo-O / CrCo-N 等
软磁结构层
自旋电子学薄膜
GMR/TMR 相关器件
磁传感器薄膜
（Co 的磁性使 CrCo 在磁性领域尤其重要）
粘附层
扩散阻挡层
多层结构中的金属功能层
高稳定性结构金属薄膜
耐腐蚀保护层
高强度结构层
柔性电子金属层
高温耐磨膜
金属结构中间层
耐蚀光学保护层
多层膜系的过渡层
Cr–Co 合金间化合物研究
CrCo-N / CrCo-O 功能薄膜开发
高强度耐蚀金属层研究
| 参数 | 范围 / 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 高纯材料可减少薄膜缺陷 |
| Cr/Co 比例 | 可定制 | 调节磁性、硬度与耐蚀性 |
| 致密度 | ≥95–99% TD | 低颗粒，高均匀度 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定靶材寿命与沉积速率 |
| 背板 | Cu / Ti / Indium | 提升散热和结构强度 |
| 材料 | 主要优势 | 应用场景 |
|---|---|---|
| CrCo | 高耐蚀、高强度、可调磁性 | 磁性薄膜、工程膜 |
| Cr（铬） | 附着性强、耐腐蚀好 | 粘附层、结构保护层 |
| Co（钴） | 磁性强、机械强度高 | 磁性器件 |
| NiCo | 磁性稳定、导电性好 | 磁传感器、电极层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CrCo 是否具有磁性？ | 是的，根据 Co 含量可调磁性强弱。 |
| 能否用于 RF 溅射？ | 可以，CrCo 对 DC / RF 均兼容。 |
| 是否支持矩形靶材？ | 任何形状都可定制。 |
| Cr/Co 比例能否精确调整？ | 可按客户工艺要求精确配比。 |
| 膜层耐腐蚀性如何？ | Cr 赋予极高耐蚀性，适合工程膜。 |
| 是否能用于反应性溅射？ | 可形成氧化/氮化 CrCo 功能膜。 |
真空密封包装
干燥剂防潮
多层缓冲材料保护
出口级硬纸箱或木箱
每片靶材附唯一批号与检测报告
铬钴靶材（CrCo）凭借其优异的耐腐蚀性、可调磁性、高机械强度以及良好的成膜性能，被广泛应用于磁性结构层、半导体金属薄膜、工程保护膜和研究型金属功能薄膜。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制成分的 CrCo 靶材，满足科研及量产设备的多种需求。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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