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铈钐靶材(CeSm)由铈(Ce)与钐(Sm)两种稀土元素组成,具有稀土金属特有的电子能级结构、光学特性和磁性调控能力。通过调整铈与钐的比例,CeSm 合金薄膜可在光学响应、能带调控、磁性特征以及材料稳定性方面实现多种功能,是科研与先进材料开发中备受关注的稀土溅射靶材。
CeSm 靶材在磁控溅射中表现稳定,膜层均匀性高,且在反应性溅射(O₂ / N₂)中可形成具有独特性能的稀土氧化物与氮化物薄膜。
铈钐靶材通常采用高纯稀土金属粉末或熔炼锭料,通过粉末冶金(CIP + 真空烧结 / HIP)、真空熔炼、精密机加工等工艺制备,确保靶材具有高致密度、低氧含量和稳定的显微结构。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
组成比例(Ce/Sm):
Ce90Sm10
Ce80Sm20
Ce70Sm30
可按需要定制任意比例
直径(Diameter):25–300 mm
厚度(Thickness):2–6 mm(可提供薄靶)
致密度(Density):95–99% of TD
工艺(Process):Vacuum Melting / CIP + Sintering / HIP
背板可选(Bonding):铜背板、钛背板、铟焊(In Bonding)
稀土合金特有的可调光学性质
薄膜磁性与电子能带结构可调控
成膜速度稳定,膜层均匀性优异
对氧、氮反应性溅射稳定,可制备 CeSm-O / CeSm-N
能满足科研与中试生产需求
用于下列功能层开发:
光调制膜
光吸收与反射调控
稀土发光功能薄膜
电致变色与光致变色结构层
稀土合金能带结构研究
Ce-Sm 多相复合材料
稀土掺杂效应研究
稀土氧化物、氮化物功能薄膜制备
特殊电性薄膜
稀土掺杂介电薄膜
多层复合结构材料
高温稳定功能层
(通过反应性溅射形成 CeSm-O)
催化薄膜
氧化物离子传导层
能量转换材料
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 高纯度可降低膜层缺陷 |
| Ce/Sm 比例 | 可定制 | 决定光学、电磁特性 |
| 致密度 | ≥95–99% | 增强薄膜均匀性 |
| 厚度 | 2–6 mm | 适配各类溅射设备 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 强化散热与机械强度 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| CeSm | 光学调控 + 稀土复合功能 | 科研薄膜、光学镀膜 |
| Ce | 高光学活性 | 透光、催化与介质材料 |
| Sm | 稀土磁性明显 | 磁性薄膜、磁光结构 |
| CeO₂ | 稳定氧化物 | 高介电与光学应用 |
CeSm 靶材有磁性吗?
有一定稀土磁响应,可通过比例调节强弱。
可用于 RF 溅射吗?
完全支持 RF / DC 溅射。
容易氧化吗?
稀土金属易氧化,所有靶材均采用真空密封包装。
可做反应性溅射?
支持 O₂、N₂ 溅射,形成 CeSm-O、CeSm-N 薄膜。
能否提供大直径靶材?
可生产至 Ø300 mm 或矩形靶材。
双层真空封装 + 干燥剂
多层抗震保护
出口级木箱包装
每件产品附唯一批号与检验记录
铈钐靶材(CeSm)结合稀土独特的光学与电子特性,是磁光材料、光学薄膜、电子器件研究和稀土复合材料开发的重要靶材。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度和可定制比例的 CeSm 合金靶材,适用于科研、试产和工业级薄膜制备。
如需报价,请联系:
📩 sales@keyuematerials.com
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