铝钛靶材（AlTi）

产品简介（Introduction）

铝钛靶材（AlTi）由铝（Al）与钛（Ti）合金化制备，是应用最为广泛的高性能金属化合金靶材之一。Al 提供轻量、高导热与良好延展性，而 Ti 具备优异的耐腐蚀性、机械强度与高温稳定性。两者结合后形成的 AlTi 合金具备优异的硬度、耐磨性、热稳定性以及可控的薄膜结构，使其成为半导体、镀膜工具、光学膜层与高性能装饰性膜的重要材料。

AlTi 靶材广泛用于直流（DC）、射频（RF）磁控溅射以及反应性溅射（与 N₂、O₂ 配合）制备 AlTiN、AlTiO 等功能涂层。

产品详情（Detailed Description）

铝钛靶材通常采用高纯铝粉与钛粉进行混粉、冷等静压（CIP）、真空烧结或 HIP 热等静压制备，也可通过真空熔炼生产大尺寸铸锭并机械加工成型。高致密度（≥98–99% TD）的 AlTi 靶材可确保溅射过程中稳定放电、低颗粒率和一致的薄膜组成。

典型规格参数

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 成分（Composition）（可定制）：

  • Al50Ti50

  • Al60Ti40

  • Al70Ti30

  • 其它配比可按需求定制

• 尺寸（Diameter）：Ø25–300 mm

• 厚度（Thickness）：2–6 mm（支持薄靶定制）

• 致密度（Density）：≥ 98–99% of TD

• 工艺（Process）：CIP + Sintering / HIP / Vacuum Melting

• 背板（Bonding）：Cu、Ti 背板，或铟焊（Indium Bonding）

优势特性

• 结构稳定、不易开裂

• 溅射速率可控、膜层均匀

• 可生成高硬度氮化物（AlTiN）

• 极佳耐腐蚀与抗氧化性能

• 适用于中高功率溅射系统

• 可用于反应性溅射（N₂、O₂、Ar）

应用领域（Applications）

1. 工具涂层（Tool Coating）

通过反应性溅射制备的 AlTiN 涂层具有高硬度、高耐热性：

• CNC 刀具

• 冲压模具

• 切削工具

• 高速钢与硬质合金表面强化

是工业刀具 PVD 涂层的核心材料之一。

2. 半导体薄膜（Semiconductor Thin Films）

AlTi 用作：

• 功能金属层

• 阻挡金属层

• 耐腐蚀结构层

• 微纳器件金属化膜

Al 提供导热性，Ti 提供化学稳定性，适用于多层结构堆叠。

3. 光学镀膜（Optical Coatings）

可用于：

• 反射增强层

• 结构支撑层

• 高温稳定光学膜

反应性溅射形成的 AlTiO 薄膜光学性能优异。

4. 装饰涂层（Decorative Coatings）

通过 AlTiN、AlTiO 膜层可获得：

• 金色 / 古铜色 / 深色金属效果

• 高耐磨耐腐蚀外观层

常用于高端消费品、钟表外壳、不锈钢装饰件。

5. 科研用途（R&D）

用于：

• 多元合金薄膜研究

• 纳米结构材料开发

• Ti-Al 系相图研究

• 高温结构材料薄膜制备

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

AlTi 能否用于制备 AlTiN 涂层？
可以，是最常见应用之一，具有极高硬度与耐热性。

是否支持 RF 溅射？
完全支持 DC、RF 以及反应性溅射。

AlTi 薄膜容易氧化吗？
靶材本身稳定，采用 Ar+O₂ 可制备 AlTiO 稳定薄膜。

可否提供大尺寸靶材？
可达 Ø300 mm 或矩形靶材。

溅射时容易产生颗粒吗？
高致密度靶材颗粒率极低，适合高端镀膜设备。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封包装

• 干燥剂与防氧化措施

• 多层防震泡沫保护

• 出口级木箱包装

• 附唯一批号与检测报告

结论（Conclusion）

铝钛靶材（AlTi）以其优异的结构稳定性、耐磨性和高温性能，在 PVD 涂层、工具制造、光学镀膜和半导体行业中具有广泛应用。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度和可定制比例的 AlTi 溅射靶材，是科研及工业薄膜沉积的可靠选择。

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