铝钪靶材（AlSc）

产品简介（Introduction）

铝钪靶材（AlSc）由铝（Al）与钪（Sc）组成，是近年来在半导体、高性能射频器件（RF）、压电薄膜、MEMS 器件及光电应用中备受关注的关键合金靶材。钪是一种稀有稀土金属，其掺入铝中后可显著提升薄膜的晶体质量、压电性能（尤其适用于 AlScN）、电子迁移率、硬度和热稳定性。

AlScN 薄膜（由 AlSc 靶材沉积）被视为下一代高性能射频滤波器（BAW/SAW）和 MEMS 传感器的核心材料。

产品详情（Detailed Description）

铝钪靶材采用高纯铝和高纯钪粉末，通过真空熔炼、喷铸、CIP 冷等静压、真空烧结或 HIP 热等静压工艺制备，确保靶材具有高度均匀的微观组织和稳定的 Sc 分布。

典型规格参数

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 常用钪含量（Sc 含量 wt%）：

  • 5% Sc

  • 10% Sc

  • 20% Sc

  • 30% Sc

  • 40% Sc（高性能 RF 应用）

  • 其它 Sc 比例可定制（1–50%）

• 形状/尺寸（Size）：

  • Ø25–300 mm 圆形靶

  • 矩形靶可定制

• 厚度（Thickness）：2–6 mm（可做薄靶）

• 生产工艺（Process）：Vacuum Melting / Spray Casting / HIP / CIP + Sintering

• 背板（Bonding）：铜背板（Cu）、钛背板（Ti）、铟焊（Indium Bonding）

材料优势

• 与纯铝相比，AlSc 具有更高的结构强度

• 钪能显著改善 AlN 的压电系数

• 薄膜纹向一致性好、压电响应提升 2–4 倍

• 高温稳定性和抗氧化能力更强

• Sc 分布均匀性高，适用于大尺寸靶材

应用领域（Applications）

1. 高频射频滤波器（RF Filters: BAW / SAW）

使用 AlSc 靶材制备的 AlScN 薄膜具有：

• 高压电性能（e₃₃ 增强）

• 更大的耦合系数（k²_eff）

• 更高频率范围可用

广泛用于：

• 5G 通信

• Wi-Fi 6 / 7

• 卫星通信设备

• 高频射频前端模块

2. MEMS 传感器（MEMS Sensors）

包括：

• 加速度计

• 压力传感器

• 超声换能器（PMUT）

• 微机械谐振器

高钪含量可显著增强薄膜的灵敏度与响应速度。

3. 光电器件（Optoelectronics）

用于：

• 高性能光学薄膜

• 紫外光探测器

• 电致伸缩材料

• 光声传感器

4. 高性能金属薄膜（Functional Metal Films）

• 导电层

• 耐腐蚀层

• 轻量结构膜

• 高温稳定薄膜

5. 科研用途（R&D）

• AlScN 的结构研究

• 钪含量对压电性能提升的实验

• 薄膜晶体生长研究

• 多元稀土功能膜体系开发

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

AlScN 的压电性能比 AlN 强吗？
是，Sc 的添加可使压电常数提升 200–400%。

AlSc 是否稳定？
高纯度 AlSc 靶材稳定性好，可用于高功率溅射。

可以做 300mm 靶材吗？
可以，支持 Ø300 mm 圆靶和矩形靶。

Sc 含量越高越好吗？
高 Sc（>30%）可提升性能，但也会增加薄膜应力，需根据工艺选择。

包装（Packaging）

• 双层真空封装

• 干燥剂吸湿保护

• 多层防震材料

• 出口级木箱/硬盒包装

• 每片附唯一批号与检测报告

结论（Conclusion）

铝钪靶材（AlSc）作为 AlScN 高性能压电薄膜的核心材料，是 5G、射频通信、MEMS、光电器件和先进材料研究中的关键合金靶材。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度、Sc 含量可定制的 AlSc 靶材，满足科研与工业级薄膜沉积需求。

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