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铝铬靶材(AlCr)由铝(Al)与铬(Cr)组成,是现代 PVD 镀膜中应用非常广泛的高性能合金靶材。铝具有良好的导热性和轻量特质,而铬则提供优异的耐腐蚀性、耐磨性与高温稳定性。AlCr 合金薄膜在结构强度、抗氧化性以及膜层致密性方面表现突出,特别适用于制备 AlCrN、AlCrON、AlCrO 等高性能功能薄膜。
AlCr 是刀具涂层(cutting tools)、模具加工、机械零件强化、装饰镀膜以及耐腐蚀涂层中的核心材料之一,是替代 TiN、CrN 的升级解决方案。
铝铬靶材采用高纯金属粉末,通过真空熔炼、冷等静压(CIP)、真空烧结或 HIP(热等静压)等工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量低,适用于高功率磁控溅射设备。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
常见成分比例(Composition):
Al70Cr30
Al80Cr20
Al60Cr40
其它铝/铬比例可按需求定制
尺寸(Size):Ø25–300 mm 或矩形靶
厚度(Thickness):2–6 mm(支持薄靶)
致密度(Density):≥98–100% TD
制造工艺(Process):Vacuum Melting / CIP + Sintering / HIP
背板(Bonding):铜背板 / 钛背板 / 铟焊接(Indium Bonding)
高温稳定性优异
膜层硬度高(适用于耐磨涂层)
氧化抗性增强
成膜速率稳定
粒子少、膜层均匀
良好的基底附着性
AlCrN 是行业领先的高性能涂层,具有:
高硬度
极强抗氧化能力(>1100°C)
高耐磨性
高速切削稳定性
用于:
CNC 刀具
钻头、铣刀
冲压模具、压铸模具
适用于:
机械零件强化
工具表面保护
抗腐蚀镀膜
高温抗氧化膜层
可产生:
深灰金属色
暗金属色
高耐磨装饰层
常用于:
高端五金
消费电子外观部件
建筑不锈钢装饰
AlCrO / AlCrON 膜层具有:
高透光稳定性
优良附着性
结构均匀
用于:
光学保护层
反射膜加强层
防刮耐磨薄膜
包括:
多元氮化物研究
高温合金薄膜开发
界面结构工程
纳米复合薄膜实验
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 满足工业 / 科研级别要求 |
| Cr 含量 | 20–40% 可定制 | 调控硬度、抗氧化、膜层颜色 |
| 致密度 | ≥98–100% TD | 粒子率低、放电稳定 |
| 厚度 | 2–6 mm | 可做薄靶 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 增强散热与结构稳定性 |
| 材料 | 优势 | 常见应用 |
|---|---|---|
| AlCr | 高温抗氧化、超强耐磨 | 刀具涂层、模具涂层 |
| AlTi | 耐磨性高,适合高速切削 | PVD 工具涂层 |
| Cr | 良好附着性 | 中低温保护膜 |
| Al | 轻量、反射率高 | 光学膜、结构膜 |
1. AlCr 可以用于 RF 和 DC 溅射吗?
可以,完全兼容 DC / RF / HIPIMS。
2. AlCrN 涂层相比 CrN 有何优势?
耐磨性和高温抗氧化能力显著提升。
3. 可以制作大尺寸靶材吗?
可提供 Ø300 mm 或大面积矩形靶材。
4. AlCr 薄膜颜色如何?
一般呈深灰色或金属深色,稳定性好。
5. 是否支持背板绑定?
支持铜、钛背板及铟焊。
真空密封
干燥剂防潮
防震多层泡棉
出口级硬纸箱 / 木箱
每片提供检测报告与唯一批号
铝铬靶材(AlCr)凭借其卓越的耐磨性、抗氧化性和高温稳定性,是 PVD 涂层、工具制造、光学镀膜和工业防护领域的核心材料之一。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、成分可定制的 AlCr 靶材,满足科研与工业级薄膜沉积需求。
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📩 sales@keyuematerials.com
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