钪铟钛靶材（ScInTi）

产品简介（Introduction）

钪铟钛靶材（ScInTi）由钪（Sc）、铟（In）与钛（Ti）组成，是一种具有结构稳定性、优异薄膜性能及广泛应用潜力的复合金属合金靶材。由于三种元素的互补特性，该靶材兼具轻量化、高延展性、可控导电性、良好的光学特征与优异膜层稳定性，是先进薄膜研究与新型电子器件开发中的重要材料。

Sc 提供晶体稳定性与改善薄膜晶粒结构的能力；In 提供柔性、导电性与低形成能；Ti 带来机械强度与耐腐蚀能力，使 ScInTi 成为高端薄膜工程中极具价值的功能靶材。

产品详情（Detailed Description）

钪铟钛靶材通常采用真空熔炼、冷等静压（CIP）成型、真空烧结或热等静压（HIP）工艺制备，确保成分均匀、致密度高与优异的薄膜沉积性能。靶材表面经过精密机加工，能够满足高功率磁控溅射设备的要求。

● 典型规格

• 纯度（Purity）： 99.9% – 99.99%

• 典型配比（Composition，可定制）：

  • Sc-In-Ti（原子比/质量比按需求定制）

  • 常见范围：Sc 5–30%，In 20–70%，Ti 10–60%

• 尺寸（Size）： Ø25 – Ø300 mm 或矩形靶

• 厚度（Thickness）： 2 – 6 mm

• 制造工艺（Process）： Vacuum Melting / CIP / Sintering / HIP

• 背板结合（Bonding）： Copper / Titanium / Indium Bonding

● 核心材料特性

• 膜层结构致密、均匀

• 具有良好的导电性与控制性电阻

• 适用于光学、电子与结构复合膜

• 抗裂纹能力强

• 与玻璃、Si、石英、ITO 等基底兼容性好

• 适合反应性溅射（ScInTi-O / ScInTi-N 薄膜）

应用领域（Applications）

1. 光电材料与透明功能薄膜

ScInTi 薄膜结构稳定、透光性可调，适用于：

• 透明导电薄膜（TCO）

• 显示面板薄膜

• 光学窗口与传输层

• 薄膜太阳能电池功能层

2. 半导体与微电子薄膜

三元元素组合带来高度可调控的电子结构，适用于：

• 阻挡层（Barrier Layer）

• 接触层（Contact Metal Film）

• 电极结构膜

• 多层复合堆栈结构（Multilayer Stack）

3. 先进功能材料研究（R&D）

用于新型材料研究，包括：

• 高稳定性功能金属薄膜

• 晶粒结构调控与成核研究

• 稀土增强型材料开发

• 柔性电子材料

4. 工业保护膜与结构层

因 Ti 的加入具有良好耐磨、耐腐蚀特性，适用于：

• 精密光学保护膜

• 结构增强层

• 防腐蚀功能膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

1. ScInTi 靶材适合哪些溅射方式？
可用于 DC、RF、脉冲溅射、HiPIMS。

2. 是否支持大尺寸靶材？
支持生产 Ø200 mm、Ø300 mm 甚至更大尺寸。

3. 是否可用于透明导电膜？
可，具体性能取决于成分与氧压调控。

4. 是否支持背板安装？
支持铜、钛背板或铟焊。

5. ScInTi 膜层是否耐热？
具有良好热稳定性，可承受退火工艺。

6. 可否定制成分？
可按原子比/重量比完全定制。

包装（Packaging）

• 双层真空封装

• 干燥剂防潮

• 防震泡沫保护

• 出口级硬箱/木箱

• 附唯一溯源码与 COA

结论（Conclusion）

钪铟钛靶材（ScInTi）凭借其优异的光学、电学与结构性能，可广泛应用于光电器件、半导体、功能薄膜工程与科研创新。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、成分可定制的 ScInTi 靶材，并配套专业镀膜技术支持。

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