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镧(Lanthanum, La)是一种银白色稀土金属,具有优良的延展性、电导性及化学活性。作为稀土元素族中的重要成员,镧靶材在电子、光电、能源与催化等领域具有广泛应用。其制备的薄膜常用于高介电常数材料、掺杂氧化物、透明导电膜和储能器件中,是高性能薄膜制备中不可或缺的稀土金属靶材之一。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度镧靶材(纯度99.9%–99.99%),采用真空熔炼与热等静压(HIP)工艺制造,组织致密、晶粒细小、杂质含量低。
靶材可提供圆形、矩形及异形规格,适配直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。
根据客户需求,可提供铜(Cu)、钛(Ti)或铟焊(In Bonded)背板结合,以提高散热与机械稳定性。
高纯度(3N–4N),减少薄膜缺陷与杂质污染;
致密均匀结构,溅射速率与膜层厚度稳定;
优异的导电性与热稳定性;
可用于复合靶设计(La-Sr、La-Al、La-Ni等);
支持多种规格定制。
半导体与电子器件:用于高介电常数膜(La₂O₃)、电极层与阻挡层;
光学镀膜:用于光学滤光膜与高折射率膜层;
能源材料:用于燃料电池电极与储能薄膜;
稀土功能膜:用于LaAlO₃、LaNiO₃、LaMnO₃等功能氧化物薄膜制备;
科研实验:用于稀土掺杂薄膜与高介电材料研究。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度减少薄膜杂质与缺陷 |
| 直径 | 25 – 300 mm(可定制) | 适配主流溅射设备 |
| 厚度 | 3 – 6 mm | 影响膜层沉积速率与均匀性 |
| 密度 | ≥ 6.15 g/cm³ | 致密性高,溅射稳定性好 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In 焊 | 提升散热与机械强度 |
| 制备工艺 | 真空熔炼 + HIP | 组织均匀、性能稳定、寿命长 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 镧靶材可用于哪些溅射系统? | 可用于直流与射频磁控溅射系统。 |
| 镧靶材沉积的薄膜性能如何? | 具有高介电常数、良好光学透明性与稳定性。 |
| 是否可与其他材料共溅射? | 可以,与Sr、Mn、Ni、Al等共溅射制备功能氧化膜。 |
| 是否易氧化? | 镧易氧化,应在真空或惰性气氛中储存与使用。 |
| 是否支持背板焊接? | 可提供Cu、Ti或In焊结合以提升散热性能。 |
| 是否适用于光电与能源领域? | 是的,常用于LaNiO₃、LaAlO₃及燃料电池薄膜。 |
| 可否定制规格? | 可提供Ø25–Ø300 mm及矩形靶材。 |
| 包装方式? | 采用真空密封、防震、防潮包装,确保洁净运输。 |
镧靶材凭借其优异的稀土电学与光学特性,在高介电常数材料、功能氧化物及能源薄膜领域中占据重要地位。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度镧靶材及背板焊接服务,确保薄膜制备的稳定性与高性能表现,广泛应用于科研与高端制造。
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📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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