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金(Gold, Au)是一种高导电性、高延展性且极具化学惰性的贵金属,广泛用于微电子、光电、传感器及装饰镀膜领域。金靶材以其优异的导电性、反射性与抗氧化性能,被广泛用于半导体互连、电极、反射镜及纳米器件中,是高端电子与光学行业中不可或缺的关键材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度金靶材(纯度99.99%–99.999%),采用真空熔炼与热等静压(HIP)工艺制造,组织致密、晶粒均匀、表面光洁度高。
产品可制成圆形、矩形及异形规格,适配直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。
可选铜(Cu)或钛(Ti)背板焊接(In Bonded),以增强散热性能和机械强度。
高纯度(4N–5N)保证薄膜电学与光学性能;
优异的导电性与反射率;
致密均匀结构,膜层稳定性高;
耐氧化、抗腐蚀、寿命长;
支持定制尺寸与背板结合方式。
半导体与微电子:用于互连层、电极及导电涂层;
光学镀膜:用于反射镜、红外滤光膜及高反射层;
传感器:用于微电极与薄膜导电路径;
装饰镀膜:用于高端装饰与防氧化涂层;
科研实验:用于纳米结构与功能性薄膜研究。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.99% – 99.999% | 高纯度减少杂质、确保电学性能 |
| 直径 | 25 – 300 mm(可定制) | 适配主流溅射系统 |
| 厚度 | 3 – 6 mm | 影响溅射速率与膜层厚度 |
| 密度 | ≥ 19.3 g/cm³ | 致密度高,膜层均匀性优良 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In 焊 | 提升散热与结构稳定性 |
| 制备工艺 | 真空熔炼 + HIP | 微结构均匀,溅射寿命长 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 金靶材可用于哪些溅射系统? | 可用于DC与RF磁控溅射系统。 |
| 金靶材沉积的薄膜性能如何? | 具有高导电性、高反射率与化学稳定性。 |
| 是否适用于微电子器件? | 是的,广泛用于芯片互连层与电极制备。 |
| 是否可与其他材料共溅射? | 可以,与Ni、Cr、Ti等共溅射形成复合膜。 |
| 是否支持背板焊接? | 可提供Cu、Ti或In焊结合以提高散热性能。 |
| 是否易氧化? | 金化学稳定性极强,不易氧化。 |
| 可否定制规格? | 可提供Ø25–Ø300 mm及矩形靶材定制。 |
| 包装方式? | 真空密封、防震、防潮包装,确保洁净运输。 |
金靶材凭借其高纯度、优异的导电性与反射特性,是高端电子与光学薄膜制备的理想材料。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的Au靶材及背板焊接服务,确保膜层性能稳定、成膜均匀,为科研与工业客户提供可靠支持。
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📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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