金靶材(Au)

金靶材(Au Sputtering Target)

产品简介

金(Gold, Au)是一种高导电性、高延展性且极具化学惰性的贵金属,广泛用于微电子、光电、传感器及装饰镀膜领域。金靶材以其优异的导电性、反射性与抗氧化性能,被广泛用于半导体互连、电极、反射镜及纳米器件中,是高端电子与光学行业中不可或缺的关键材料。

产品详情

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度金靶材(纯度99.99%–99.999%),采用真空熔炼与热等静压(HIP)工艺制造,组织致密、晶粒均匀、表面光洁度高。
产品可制成圆形、矩形及异形规格,适配直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。
可选铜(Cu)或钛(Ti)背板焊接(In Bonded),以增强散热性能和机械强度。

技术特点

  • 高纯度(4N–5N)保证薄膜电学与光学性能;

  • 优异的导电性与反射率;

  • 致密均匀结构,膜层稳定性高;

  • 耐氧化、抗腐蚀、寿命长;

  • 支持定制尺寸与背板结合方式。

应用领域

  • 半导体与微电子:用于互连层、电极及导电涂层;

  • 光学镀膜:用于反射镜、红外滤光膜及高反射层;

  • 传感器:用于微电极与薄膜导电路径;

  • 装饰镀膜:用于高端装饰与防氧化涂层;

  • 科研实验:用于纳米结构与功能性薄膜研究。

技术参数

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.99% – 99.999% 高纯度减少杂质、确保电学性能
直径 25 – 300 mm(可定制) 适配主流溅射系统
厚度 3 – 6 mm 影响溅射速率与膜层厚度
密度 ≥ 19.3 g/cm³ 致密度高,膜层均匀性优良
背板结合 Cu / Ti / In 焊 提升散热与结构稳定性
制备工艺 真空熔炼 + HIP 微结构均匀,溅射寿命长

常见问题(FAQ)

问题 答案
金靶材可用于哪些溅射系统? 可用于DC与RF磁控溅射系统。
金靶材沉积的薄膜性能如何? 具有高导电性、高反射率与化学稳定性。
是否适用于微电子器件? 是的,广泛用于芯片互连层与电极制备。
是否可与其他材料共溅射? 可以,与Ni、Cr、Ti等共溅射形成复合膜。
是否支持背板焊接? 可提供Cu、Ti或In焊结合以提高散热性能。
是否易氧化? 金化学稳定性极强,不易氧化。
可否定制规格? 可提供Ø25–Ø300 mm及矩形靶材定制。
包装方式? 真空密封、防震、防潮包装,确保洁净运输。

结论

金靶材凭借其高纯度、优异的导电性与反射特性,是高端电子与光学薄膜制备的理想材料。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的Au靶材及背板焊接服务,确保膜层性能稳定、成膜均匀,为科研与工业客户提供可靠支持。

如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com