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蓝宝石晶圆（Al₂O₃）
蓝宝石晶圆（Al₂O₃）是一种用途广泛的衬底材料，以其优异的机械强度、高热导率和良好的电绝缘性能而闻名。它在半导体器件、光电子元件以及LED技术等领域具有重要应用。凭借高纯度与六方晶体结构，蓝宝石晶圆可在高性能电子和光学应用中提供卓越表现。
物理性能
| 性能 | 参数 |
|---|---|
| 材料 | Al₂O₃（氧化铝） |
| 晶体结构 | 六方晶系 |
| 晶格常数 | a = 4.758 Å，c = 12.992 Å |
| 晶体纯度 | >99.99% |
| 密度 | 3.98 g/cm³ |
| 熔点 | 2040°C |
| 硬度 | 莫氏硬度 9.0 |
| 热膨胀系数 | 7.5 × 10⁻⁶ /°C |
| 热导率 | 46.06 W/(m·K) @ 0°C；25.12 W/(m·K) @ 100°C；12.56 W/(m·K) @ 400°C |
| 介电常数 | 9.4 @ 300K（A轴），11.58 @ 300K（C轴） |
| 损耗角正切（10 GHz） | < 2 × 10⁻⁵（A轴），< 5 × 10⁻⁵（C轴） |
规格
| 参数 | 详情 |
|---|---|
| 尺寸 (mm) | 10×3、10×5、10×10、15×15、20×15、20×20、直径 15、直径 20、直径 1″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | SSP（单面抛光）或 DSP（双面抛光） |
| 晶面间距 | (1120) – a 面：2.379 Å；(1102) – r 面：1.740 Å；(1010) – m 面：1.375 Å；(1123) – n 面：1.147 Å；(0001) – c 面：2.165 Å；(1011) – s 面：1.961 Å |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘定向 | 2°（可选1°） |
| 晶体角度 | 可根据要求定制尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤5Å（5µm × 5µm） |
包装
苏州科跃生产的蓝宝石晶圆在Class 1000级洁净室内加工，并采用Class 100洁净袋或晶圆盒封装，确保在操作与运输过程中保持无尘和高洁净度。
蓝宝石晶圆（Al₂O₃）是光电子、半导体及LED制造等高科技行业的理想衬底材料，可为苛刻应用提供可靠解决方案。
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