描述
铁掺杂钛酸锶衬底(Fe: SrTiO₃)
铁掺杂钛酸锶(Fe: SrTiO₃)衬底是一种经过精确掺杂调控的单晶材料,因其优良的电学、介电以及光学特性,在多种先进薄膜与器件应用中具有重要价值。通过在钛酸锶晶格中引入铁离子(Fe³⁺),可以有效改变材料的导电特性、缺陷态及吸收特性,使其更适合特定的功能薄膜外延生长及光电器件制造。
该衬底广泛应用于光催化研究、光电探测器、铁电薄膜、氧化物电子学、高温超导薄膜以及光学调制元件的开发。铁离子的引入还可改善薄膜的磁光响应,为自旋电子学和磁光器件提供基础材料支持。
物理性能
| 性能 | 详情 |
|---|---|
| 材料 | 铁掺杂钛酸锶(Fe: SrTiO₃) |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a ≈ 3.905 |
| 掺杂类型 | 铁(Fe³⁺) |
| 生长方法 | 柯氏拉法(Czochralski)或提拉法 |
| 硬度 | ~6(莫氏) |
| 熔点 | ~2080°C |
| 密度 (g/cm³) | ~5.11 |
| 纯度 | ≥99.95%(3N5) |
规格参数
| 参数 | 详情 |
|---|---|
| 尺寸 (mm) | 5×5、10×5、10×10、15×15、20×15、20×20、直径 1″、2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光类型 | SSP(单面抛光)或 DSP(双面抛光) |
| 晶向 | <100> 或 <111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤5Å(AFM测量,5µm × 5µm) |
包装
苏州科跃生产的Fe: SrTiO₃衬底在Class 1000级洁净室中完成切割、抛光与检测,并采用Class 100洁净袋或专用晶圆盒密封保存,以避免在储存和运输过程中受到污染。
这种高标准的制造与包装确保了衬底在光学、电子学以及磁光应用中的高性能表现。




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