描述
钆镓石榴石（GGG）衬底
钆镓石榴石（GGG）衬底是一种广泛应用于磁光薄膜领域的特种材料，在光通信器件中具有重要作用。通常在磁场中沉积钇铁石榴石（YIG）或铋铁石榴石（BIG）薄膜，以构成光隔离器的关键部件。
GGG单晶衬底因其能够与磁光材料的晶格高度匹配而被精心选用，可确保YIG和BIG薄膜具有优异的外延生长质量。此外，GGG还可作为微波隔离器制造中的衬底材料。
钆镓石榴石衬底的物理性能
| 性能 | 详情 |
|---|---|
| 材料 | 钆镓石榴石（GGG） |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a = 12.376 |
| 生长方法 | 柯氏拉法（Czochralski） |
| 硬度 | 6.0 – 7.0（莫氏） |
| 纯度 | 99.95% |
| 熔点 | 1800°C |
| 密度 (g/cm³) | 7.09 |
| 折射率 | 1.95 |
钆镓石榴石衬底的规格
| 参数 | 详情 |
|---|---|
| 尺寸 (mm) | 10×3、10×5、10×10、15×15、20×15、20×20、直径 2″ × 0.33 mm |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光类型 | SSP 或 DSP |
| 晶向 | <111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘定向 | 2°（特殊：1°） |
| 晶体角度 | 可定制尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤5Å（5µm × 5µm） |
钆镓石榴石衬底的包装
苏州科跃生产的GGG衬底在严格的洁净室条件下包装，以确保高品质。每片衬底均封装于Class 100洁净袋或晶圆盒中，并在Class 1000洁净室内完成封装，以防止在储存和运输过程中受到污染。
这种包装方式确保衬底保持洁净无瑕，可直接用于光学及微波隔离器等高精度应用。
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