描述
苏州科跃 铝酸锶镧（LaSrAlO₄）衬底
苏州科跃提供高品质铝酸锶镧（LaSrAlO₄）衬底，具有优异的化学稳定性、高介电常数及与多种氧化物材料的卓越晶格匹配性能。该衬底非常适合薄膜外延生长，尤其应用于光电子学、超导技术及高频电子器件领域。
LaSrAlO₄ 衬底具备优异的热稳定性和低热膨胀系数，使其在高性能电子器件及量子材料研究中表现突出。其高折射率及在可见光和红外波段的良好透光性，使其广泛用于光学镀膜和光子学。此外，LaSrAlO₄ 衬底常应用于复杂氧化物体系中，对高质量界面形成的要求尤为适配。
苏州科跃可根据客户需求，提供精确规格的定制化 LaSrAlO₄ 衬底，从电子器件到先进材料研究均能确保最佳性能与可靠性。
铝酸锶镧衬底主要物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | LaSrAlO₄（铝酸锶镧） |
| 晶体结构 | M4 |
| 晶格常数 (Å) | a = 3.756, c = 12.63 |
| 生长方法 | 提拉法（Czochralski） |
| 熔点 | 1650℃ |
| 密度 (g/cm³) | 5.92 |
| 莫氏硬度 | 6–6.5 |
| 介电常数 | ε = 16.8 |
铝酸锶镧衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 15 mm、直径 20 mm、直径 1″、直径 2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <001> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 晶体角度 | 可按需提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
包装细节
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装 LaSrAlO₄ 衬底，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，确保产品在运输和存储过程中的洁净度与防护性。
选择苏州科跃高性能铝酸锶镧（LaSrAlO₄）衬底，为高质量薄膜制备及先进半导体应用提供可靠保障。
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