描述
苏州科跃 LSAT 衬底（镧锶铝钽氧化物）
LSAT（Lanthanum Strontium Aluminum Tantalum Oxide，镧锶铝钽氧化物）衬底以其独特的晶体结构和优异的热稳定性而闻名，广泛应用于高性能电子器件的薄膜沉积。LSAT 晶体在温度变化下无相变特性，非常适合高温超导薄膜及其他先进材料的制备。其晶格结构与 YBCO 相似，但热膨胀系数更低，在较低温度下进行薄膜沉积时可有效降低热应力。
LSAT 衬底主要物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | (La, Sr)(Al, Ta)O₃ (LSAT) |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a = 3.868 |
| 生长方法 | 提拉法（Czochralski） |
| 莫氏硬度 | 6.5 |
| 熔点 | 1840℃ |
| 密度 (g/cm³) | 6.74 |
| 热膨胀系数 | 10 × 10⁻⁶ /℃ |
| 介电常数 | ε = 22 |
| 外观 | 无色至浅棕色（取决于退火条件） |
LSAT 衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 15 mm、直径 20 mm、直径 1″、直径 2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <100>、<110>、<111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘倒角 | 2°（可选 1°） |
| 晶体角度 | 可按需提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
包装细节
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装 LSAT 衬底，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，确保产品在运输与存储中的洁净度与完整性。
选择苏州科跃高性能 LSAT 衬底，满足先进薄膜应用及高温超导科研的严苛需求。
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