描述
苏州科跃 钛酸锶（SrTiO₃）衬底
钛酸锶（SrTiO₃）是一种高品质单晶衬底，广泛应用于薄膜沉积及先进材料研究。凭借优异的晶格匹配性能，它是高温超导体、铁电薄膜及光电子器件应用的理想选择。其卓越的介电性能使其在高性能电子元件制造中不可或缺。
钛酸锶衬底主要物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | SrTiO₃ |
| 晶体结构 | 室温下为立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a = 3.905 |
| 生长方法 | Verneuil 法 |
| 熔点 | 2080℃ |
| 密度 (g/cm³) | 5.12 |
| 莫氏硬度 | 6 |
| 介电常数 | ε = 300（室温） |
| 外观 | 透明至浅黄色抛光表面 |
| 化学稳定性 | 在多种条件下均表现出极高稳定性 |
| 关键特性 | 薄膜生长的卓越晶格匹配性能 |
钛酸锶衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 1″、直径 2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <100>、<110>、<111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘倒角 | 2°（可选 1°） |
| 晶体角度 | 可根据需求提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
包装细节
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装钛酸锶衬底，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，确保产品在运输及存储过程中的洁净度与完整性。
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