铝酸镧衬底 (LaAlO₃)

苏州科跃 铝酸镧(LaAlO₃)衬底

铝酸镧(LaAlO₃)是一种高性能单晶衬底,广泛应用于工业生产及高温超导薄膜的制备。该材料采用提拉法(Czochralski)生长工艺制造,可获得直径达 2 英寸甚至更大的单晶。其与 YBaCuO 高温超导薄膜的优异匹配性,加上低介电常数和极低的微波损耗,使其成为先进微波电子器件中的关键材料。

铝酸镧衬底主要物理性能

性能参数 数值
材料 LaAlO₃
晶体结构 室温:六方晶系;高于 435℃:立方晶系
晶格常数 (Å) 六方:a = 5.3575, c = 13.22;立方:a = 3.821
生长方法 提拉法(Czochralski)
莫氏硬度 6–6.5
熔点 2080℃
密度 (g/cm³) 6.52
热膨胀系数 9.4 × 10⁻⁶ /℃
介电常数 ε = 21
损耗角正切(10 GHz) ~ 3 × 10⁻⁴ @ 300K;~ 0.6 × 10⁻⁴ @ 77K
外观 棕黄色至棕色,抛光表面,带有根据退火条件形成的天然孪晶结构
化学稳定性 室温下不溶于矿酸;高于 150℃ 时可溶于 H₃PO₄
关键特性 微波电子器件的理想材料

铝酸镧衬底规格

规格 参数
尺寸 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 15 mm、直径 20 mm、直径 1″、直径 2″、直径 2.6″
厚度 0.5 mm、1.0 mm
抛光 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP)
晶向 <100>、<110>、<111>
定向精度 ±0.5°
边缘倒角 2°(可选 1°)
晶体角度 可按需提供特殊尺寸与晶向
表面粗糙度 (Ra) ≤ 5 Å(5 μm × 5 μm)

包装细节

苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装铝酸镧衬底,并在 Class 1000 洁净室内完成包装,以确保产品的完整性与高洁净度。

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