描述
苏州科跃 ScAlMgO₄ 衬底
苏州科跃提供高品质 ScAlMgO₄（钪铝镁氧化物）衬底，因其优异的晶格匹配性能、出色的热稳定性以及卓越的表面质量而备受行业认可。这类衬底广泛应用于先进薄膜领域，尤其适用于高性能电子与光电子材料的外延生长。
ScAlMgO₄ 衬底与 III-氮化物材料的晶格失配率极低，非常适合用于基于 GaN 的器件制造，包括 LED、高频晶体管以及功率电子器件。其高热导率可实现高效散热，显著提升器件性能与使用寿命。此外，低缺陷密度与原子级平滑表面有助于获得高质量薄膜，从而进一步提高器件整体效率。
苏州科跃严格控制生产工艺，精密加工 ScAlMgO₄ 衬底，以满足现代半导体科研与生产的严苛要求，确保在下一代电子与光子应用中实现最佳性能。
ScAlMgO₄ 衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 材料 | ScAlMgO₄ |
| 晶格常数 (Å) | a = 0.3246, c = 2.5195 |
| 晶体结构 | M6 |
| 晶向 | <0001> |
| 尺寸 | 20 × 20 mm、10 × 10 mm、10 × 5 mm、5 × 5 mm |
| 厚度 | 400 μm、500 μm ± 25 μm |
ScAlMgO₄ 衬底包装
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中进行封装，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，确保产品运输过程安全、无污染。
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