可再充型挡板盒

概述

出色的热源,适用于硅一氧化物(SiO)薄膜的沉积。

 

工作原理

  • 使用前,将盒子装入硅一氧化物(SiO)(装载量不得超过该盒子规定的最大重量);

  • SiO 原材料被储存在与烟囱间接连接的隔舱中;

  • 当盒子加热时,SiO 蒸气被迫通过一系列挡板(baffles)流动,最后从烟囱排出;

  • 由于从原材料到基底之间不存在直视通道,避免了沉积膜层上出现飞溅(spitting)或喷射(streaming)所带来的负面影响。

额外信息

  • 有可再充型(Rechargeable)和不可再充型(Non-Rechargeable)两种类型——名称来源于初次或再次填料的位置;

  • 可再充型盒子可以通过一个或两个盖子直接在真空腔体内、连接电源端的状态下填料;

  • 不可再充型盒子必须从电源端拆下并解体后才能填料或再填料;

  • 两种类型的使用寿命都很长,且都可以多次再充;

  • 设计上提供两种蒸发羽流方向:向上(“垂直”)或向下(“倒置”),也可将蒸发源横放以实现“水平”羽流。

不可再充型挡板盒

不可再充型挡板盒

#587: 1.08Volt, 255 Amps, 275 Watts

#588: 1Volt, 242 Amps, 242 Watts

不可再充型挡板盒

#589: 1.25Volt, 225 Amps, 282 Watts

#590: 1.26Volt, 236 Amps, 297 Watts

不可再充型挡板盒

#591: 1.36Volt, 283 Amps, 385 Watts

#592: 1.6Volt, 318 Amps, 509 Watts

不可再充型挡板盒

#593: 1.66Volt, 340 Amps, 564 Watts

#594: 1.7Volt, 349 Amps, 593 Watts

不可再充型挡板盒

#595: 2.06Volt, 357 Amps, 735 Watts

#596: 1.86Volt, 327 Amps, 608 Watts