陶瓷衬底

陶瓷基板 | 适用于薄膜沉积、微电子与高温环境的解决方案

苏州科跃提供多种高性能陶瓷基板，广泛应用于真空沉积、半导体加工、电子封装及光学系统等技术领域。产品具备优异的电绝缘性、热稳定性和尺寸控制能力，适用于要求严苛的工业与科研环境。

可选材料：

氧化铝（Al₂O₃）陶瓷基板
氮化铝（AlN）陶瓷基板
氧化锆（ZrO₂）陶瓷基板
氮化硅（Si₃N₄）陶瓷基板
高纯石英基板

每种材料均根据其介电常数、导热性以及与不同沉积或集成工艺的匹配性进行选择。

产品特点：

表面处理：可提供研磨、抛光或原烧结表面
厚度范围：0.25 mm 至 5 mm，支持定制规格
尺寸精度：严格公差控制，适用于掩膜对准和精密图案加工
性能优势：耐高温、绝缘性能强、耐腐蚀

典型应用：

溅射与蒸发沉积平台
微电子器件与混合集成电路封装
激光器、射频组件的载体与支撑结构
高压/真空环境下的绝缘垫片
光学窗口、传感器等恶劣环境应用

苏州科跃可提供标准尺寸圆片（1″–6″）以及按图定制的异形基板。可选单面或双面抛光，支持金属化、电极层、激光图案等附加加工服务。