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箱式蒸发源
可再充型挡板盒
非常适合热蒸发一氧化硅(SiO)及其他容易产生飞溅的材料。
不可再充型挡板盒
不可再充型挡板盒非常适用于热蒸发一氧化硅以及其他容易出现飞溅的材料。
钽盒式加热器
盒式热源提供多种样式选择。它们在加热某些材料时可有效减少飞溅现象。热源内部的挡板设计消除了散装材料与基底之间的直线视角,从而提高薄膜沉积的均匀性和质量。